下载研磨用组合物的技术资料

文档序号:1584825

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本发明提供一种能够防止磁盘基片表面的外周部分被过度研磨的研磨用组合物。依照本发明的第一研磨用组合物包括由上面的通式表示的化合物,字母X表示聚醚多元醇的残基,字母m表示与一个聚醚多元醇分子中的羟基数相等的数字,字母Y表示二价烃基,字母Z表示具...
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