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本发明提供了一种振动传感器，所述振动传感器包括：单晶硅基底；形成于所述单晶硅基底的下表面的梯形开口，其是在所述单晶硅基底的下表面进行刻蚀得到的；形成于具有梯形开口的单晶硅基底上表面的波形多层结构，所述波形多层结构包括至少一组相对设置的结构层...
该专利属于佛山市合宏泰业科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市合宏泰业科技有限公司授权不得商用。

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