下载一种复合图形化衬底的制备方法的技术资料

文档序号:15846552

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本发明公开了一种复合图形化衬底的制备方法,包括以下步骤:S1:制备蓝宝石基础衬底;S2:在S1步骤中制备的蓝宝石基础衬底表面固定支撑体,再在支撑体表面镀金属合金层,去除氧化膜,去除支撑体,即得空腔结构的蓝宝石衬底;S3:在蓝宝石衬底的空腔中...
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