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制造三维扇出结构的方法技术
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文档序号:15846454
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制造用于集成电路装置的3D扇出结构的方法,包括:提供衬底载体,其具有相对的第一和第二表面,以及在第一和第二表面之间延伸的孔。将第一半导体片芯接合至衬底载体的第一表面,使得第一片芯覆盖衬底载体的孔。将封装剂和第二片芯沉积放置在衬底载体的孔内,...
该专利属于飞思卡尔半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过飞思卡尔半导体公司授权不得商用。
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