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本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括具有收纳空间的保护结构及收容于所述收纳空间内的MEMS芯片和ASIC芯片，所述保护结构上设有声孔，所述MEMS芯片包括第一表面及与所述第一表面相对的第二表面，所述MEMS麦克风还包括至少一个键合于所述...
该专利属于瑞声科技（新加坡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声科技（新加坡）有限公司授权不得商用。

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