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本实用新型属于微电子加工设备技术领域,具体涉及一种DBC生产用铜片氧化治具。本氧化治具包括形成有支撑平面的呈框架结构的支撑框,所述支撑框的内沿尺寸小于待氧化铜片的外沿尺寸;所述支撑框的中部设置有支撑梁;所述支撑框的左右两侧分别设置有将所述支...该专利属于南京中江新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京中江新材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型属于微电子加工设备技术领域,具体涉及一种DBC生产用铜片氧化治具。本氧化治具包括形成有支撑平面的呈框架结构的支撑框,所述支撑框的内沿尺寸小于待氧化铜片的外沿尺寸;所述支撑框的中部设置有支撑梁;所述支撑框的左右两侧分别设置有将所述支...