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本发明公开了一种半导体工艺配方的管理系统和方法，其包括配方编辑管理模块、配方数据管理模块、配方传输管理模块和配方控制管理模块，其中，配方编辑管理模块采用对配方参数图形对象化的编辑方式生成工艺配方，实现了配方参数的编辑可视化、直接明了，便于编...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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