下载一种测试装置的技术资料

文档序号:15839091

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本发明公开了一种测试装置,应用于X射线曝光检测器件测试,包括非透光的腔体、光源板、支承柱和探针,光源板、支承柱以及探针设置在腔体内;光源板包括分布在光源板一侧表面的多个发光体,以及与发光体连接的、用于控制发光体产生预设强度光的控制部;支承柱...
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