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本发明提供一种低温泵。本发明的目的在于提高低温泵的非冷凝性气体的排气性能。本发明的低温泵(10)具备：第2低温板单元(20)，其与制冷机(16)的第2冷却台(24)热连接；放射屏蔽件(30)，其具有屏蔽件主开口(34)、屏蔽件侧部开口(44...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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