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一种基材运动式等离子体放电制备纳米涂层的设备及方法,属于等离子体技术领域,设备包括:电极、真空排气装置、气体管路、基材固定装置,基材固定装置可以在运动机构的带动下在电极形成的空间内部产生运动,通入单体蒸汽到反应腔室内,进行化学气相沉积,沉积...
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