下载一种低辐射玻璃的制备方法的技术资料

文档序号:15835194

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本发明公开了一种低辐射玻璃的制备方法,包括如下步骤:(1)将清洁干净的待镀玻璃工件竖直置于支架上,送入真空镀膜仓中;(2)密封真空镀膜仓,抽真空,然后通入适量的工艺气体;并保持真空度稳定;(3)靶材Ag、Si嵌入阴极,与阴极垂直的水平方向置...
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