下载一种多边结构尺寸硅片的切割方法及粘棒工装的技术资料

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本发明涉及一种多边结构尺寸硅片的切割方法及粘棒工装,其中包含如下步骤:(1)粘胶;(2)上料;(3)线切割,通过对现有金刚线多线切割工艺做优化,实施对多边结构晶棒的切片;(4)下料,采用上下料工装将加工完成后的硅片运送脱胶机中;(5)脱胶,...
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