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本实用新型涉及一种无墨点晶圆外观检查系统，该系统包括读取装置、移动载台、影像撷取装置、显示装置、控制装置以及游标装置，该读取装置读取晶圆上的序号，由计算机数据库输出晶圆映射图；该移动载台供放置晶圆并能调整其水平位置；该影像撷取装置拍摄该晶圆...
该专利属于京隆科技(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京隆科技(苏州)有限公司授权不得商用。

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