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本实用新型提供一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，涉及一种等离子体增强新型电极板技术领域。该实用新型包括喷淋头电极板结构、电极杆结构和安装法兰，电极杆结构的顶端与喷淋头电极板结构连接，电极板结构上设置有安装法兰，喷淋头电极板结构包...
该专利属于沈阳聚智真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳聚智真空设备有限公司授权不得商用。

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