下载薄片后处理装置的技术资料

文档序号:15826345

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本实用新型提供一种提高薄片后处理装置的处理速度的同时,能够得到高精度的薄片的整理状态的薄片后处理装置。实施方式的薄片后处理装置,具备:旋转轴;待机部,使薄片滞留;处理部,对从所述待机部供给的薄片进行后处理;第一叶轮,安装在所述旋转轴上,围绕...
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