下载一种p型金属氧化物薄膜晶体管的制备方法的技术资料

文档序号:15824291

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本发明属于薄膜晶体管制备技术领域,涉及一种制备p型金属氧化物薄膜晶体管的方法,用于p型金属氧化物半导体薄膜及p型金属氧化物薄膜晶体管制备场合;解决传统TFT器件载流子迁移率低,能耗高,制备成本昂贵,反应条件苛刻,电容密度小和栅极漏电流大的难...
该专利属于青岛大学所有,仅供学习研究参考,未经过青岛大学授权不得商用。

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