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一种改善鳍式场效应管性能的方法，包括：提供衬底，衬底表面形成有分立的鳍部，衬底表面还形成有隔离层，隔离层覆盖鳍部部分侧壁表面，且隔离层顶部低于鳍部顶部；在隔离层表面形成横跨鳍部的栅极结构，栅极结构覆盖鳍部的部分顶部和侧壁表面；形成覆盖所述鳍...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。