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本发明涉及一种热成像传感器像素单元及其阵列，该像素单元包括：衬底、热量汇聚组件和热吸收组件；热吸收组件位于衬底和热量汇聚组件之间；热量汇聚组件包括聚焦透镜；聚焦透镜内嵌在中空的框架内悬空架设在热吸收组件的上方；热吸收组件包括热吸收板和位于热...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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