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一种温度和湿度光纤法布里珀罗复合微纳传感器制造技术
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下载一种温度和湿度光纤法布里珀罗复合微纳传感器的技术资料
文档序号:15820844
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本发明属于微纳传感器技术领域,特别涉及一种温度和湿度光纤法布里珀罗复合微纳传感器。一种温度和湿度光纤法布里珀罗复合微纳传感器,由依次连接的光纤接入段、外部固定装置、内部光纤固定装置、干涉空腔、温度和湿度传感器段组成。本发明提出了使用全氟磺酸...
该专利属于哈尔滨工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工程大学授权不得商用。
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