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一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法，包括：在所述微悬臂梁上制备局域等离激元结构、采集因光激励微悬臂梁振动所发出的振动信号。金属纳米颗粒将吸收的光能转化为电子谐振的动能，继而通过晶格对电子的散射把这一能量转化为...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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