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二维位移测量装置及测量方法制造方法及图纸
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文档序号:15820756
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本发明涉及一种二维位移测量装置,包括:激光器,用于输出偏振激光;分光移频模块,用于将偏振激光进行分光并实现差动移频,形成至少三束光,且三束光频率不同;汇聚模块,用于对至少三束光进行汇聚后入射至待测目标上,且接收被待测目标散射返回的激光,使返...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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