下载二维位移测量装置及测量方法的技术资料

文档序号:15820756

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本发明涉及一种二维位移测量装置,包括:激光器,用于输出偏振激光;分光移频模块,用于将偏振激光进行分光并实现差动移频,形成至少三束光,且三束光频率不同;汇聚模块,用于对至少三束光进行汇聚后入射至待测目标上,且接收被待测目标散射返回的激光,使返...
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