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提供一种扫描探针，以用于坐标测量机。扫描探针包括旋转位置检测配置和轴向位置检测配置，旋转位置检测配置输出表示触针联接部分围绕旋转中心的旋转的X和Y位置信号，轴向位置检测配置输出表示触针联接部分沿着轴向方向的位置的Z位置信号。Z位置信号对轴向...
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