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一种瓶颈式反应管及高通量二维单晶炉装置制造方法及图纸
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下载一种瓶颈式反应管及高通量二维单晶炉装置的技术资料
文档序号:15818530
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本发明属于单晶和薄膜材料制备技术领域,提供一种瓶颈式反应管、以及与该瓶颈式反应管配套使用的高通量二维单晶炉装置,用以克服现有单晶炉的操作繁复、生产单晶品质低、生产效率低等缺点。本发明瓶颈式反应管呈圆筒状,其底部封闭,顶部采用封管密封,其侧面...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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