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本申请提供了一种类金刚石薄膜及其制备方法。本发明提供的制备方法包括：将石墨靶材在混合气体环境中进行磁控溅射，在衬底上沉积得到类金刚石薄膜；所述混合气体为氩气、氢气和氮气。按照本发明的制备方法制得的类金刚石薄膜不仅具有良好的光学特性，同时还具...
该专利属于信利光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过信利光电股份有限公司授权不得商用。

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