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本实用新型涉及一种化学机械研磨装置，包括：研磨平板，传感器探头(sensor probe)结合于研磨平板；研磨垫，其配置于研磨平板的上面并且形成有垫孔，所述垫孔与传感器探头相对应；探头盖(probe cap)，其在研磨垫附着于研磨平板的上面...
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