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本实用新型提供一种研磨腔体及靶材打磨清洗机，所述研磨腔体包括：腔体主体，所述腔体主体内形成有空腔，所述空腔内填充有与靶材材质相同的研磨颗粒。本实用新型的研磨腔体通过在空腔内填充与靶材材质相同的研磨颗粒，在外界驱动力的作用下可以在设备维护保养...
该专利属于中航（重庆）微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中航（重庆）微电子有限公司授权不得商用。

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