温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种具有大钻石单晶的组合式修整器，包括：一大基板，具有复数个容置槽；以及复数个研磨单元，设置于该大基板的该容置槽，该研磨单元包括一放置于该容置槽的一底面的海绵、一设于该海绵上的小基板及复数个大钻石研磨颗粒，该大钻石研磨颗粒具有一...该专利属于福建自贸试验区厦门片区展瑞精芯集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建自贸试验区厦门片区展瑞精芯集成电路有限公司授权不得商用。