温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及真空等离子体设备领域，公开了一种导气杆、真空腔和真空等离子体设备，导气杆设置于真空等离子体设备的真空腔内，其外壳围合形成中空腔体，端部设置有气体入口，外壳上还开有若干个导气孔；气体入口与真空腔的进气孔相连通；气体经进气孔和气体入口...
该专利属于上海稷以科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海稷以科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。