下载薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板以及显示装置的技术资料

文档序号:15793749

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本发明涉及一种薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板以及显示装置。所述薄膜晶体管包括:设置在衬底基板上的有源层和设置在所述有源层上的栅极叠层,其中,所述栅极叠层包括:设置在所述有源层上的栅极绝缘层;设置在所述栅极绝缘层上的栅极电极;设置在所述栅极...
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