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一种离轴照明的线视场色散样板干涉仪制造技术
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文档序号:15788378
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本发明涉及一种离轴照明的线视场色散样板干涉仪,属于光电检测技术领域。本发明的干涉仪,每次可对被测玻璃表面的一条母线误差进行检测,辅以截线方向一维扫描,可对具有直线或近似直线母线的双面玻璃、反射镜等进行二维面形误差检测。测量结果无平行表面串扰...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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