下载一种微流控高频声聚焦芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:15754218

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本发明公开了一种微流控高频声聚焦芯片及其制备方法。其产品由声波换能器、带有波导和聚焦功能的微结构的硅片、PDMS有机高聚物所构成。其中,硅片上的波导结构为45˚镜面结构的硅凹槽,聚焦结构为硅晶片内半圆柱‑垂直反射壁形状的凹槽。在45˚硅镜面...
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