下载用于形成蜂窝阵列的图案的方法的技术资料

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一种用于形成图案的方法包括在底层上形成椭圆形柱体。椭圆形柱体具有细长的特征,并且包括突出侧以及与突出侧连接的长侧,并且四个椭圆形柱体在分离空间的周围形成菱形阵列。附接至椭圆形柱体的侧面的引导晶格形成为在分离空间内打开第一窗口。通过选择性地去...
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