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本实用新型提供了一种定位系统以及曝光定位系统，涉及曝光技术领域，包括横向滑道机构、纵向滑道机构、转动滑道机构；横向滑道机构通过沿横向的运行幅度，调节与固定定位目的物的位置；纵向滑道机构通过沿纵向的运行幅度，调节与固定所述定位目的物的位置；转...
该专利属于天津津芯微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津津芯微电子科技有限公司授权不得商用。

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