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基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法制造方法及图纸
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下载基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法的技术资料
文档序号:15743558
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基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法,属于光学精密测量技术领域,本发明为解决由于样品表面的荧光中介层的不均匀,导致面形高度误差大的问题。本发明所述基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置的测量方法,在待测样品表面镀一层金属荧光薄膜;...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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