下载具有梯度注入区的半导体元件及其制造方法的技术资料

文档序号:15726088

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本发明公开了一种具有梯度注入区的半导体元件及其制造方法。该半导体元件包括具有第一导电型的基板、设置于基板中并具有第二导电型的高压阱、设置于高压阱中并具有第一导电型的源极阱、设置于高压阱中并与源极阱分隔的漂移区,以及设置于高压阱中并介于源极阱...
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