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本发明提供的基于半导体设备实时状态的物料调度方法及系统,其包括以下步骤:S1,根据已确定的关键参数,预先获得最优的物料调度规则;S2,判断所有物料是否均已完成指定的传输和工艺任务,若是,则结束调度;若否,则执行步骤S3;S3,根据设备的实时...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。