下载一种湿法刻蚀设备和湿法刻蚀的方法的技术资料

文档序号:15726020

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本发明公开了一种湿法刻蚀设备和湿法刻蚀的方法,其中,该湿法刻蚀设备包括:刻蚀腔,所述刻蚀腔内设置有可移动旋转的工作台和设置在工作台上方的喷头装置;所述工作台用于承载待刻蚀基板,所述待刻蚀基板包括覆盖基板上的薄膜层;所述喷头装置用于将刻蚀液逐...
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