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一种平台机构，适用于承载一晶圆。平台机构包含一基座、一转盘、一载具、至少一夹具以及至少一解扣件。转盘可旋转地设置于基座上。载具可移除地设置于转盘上用以承载晶圆。至少一夹具枢设于转盘上用以夹持载具，以让载具固定于转盘。至少一解扣件可活动地设置...
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