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本实用新型公开了一种基底红外加热的卷对卷磁控溅射镀膜设备，包括高温区、低温区、收放卷系统和真空系统，所述高温区和低温区之间通过隔板隔开，所述高温区内和低温区内均设有红外加热器，所述高温区内还设有油温鼓，所述油温鼓周围设有若干隔离槽，所述隔离...
该专利属于浙江尚越新能源开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江尚越新能源开发有限公司授权不得商用。

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