下载发光二极管的外延片及其制作方法的技术资料

文档序号:15705808

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本发明公开了一种发光二极管的外延片及其制作方法,在图形衬底上设计和制备对位标记点并外延生长GaN单层,利用对位标记点精确对位,在GaN单层的高位错密度区域上制备位错延伸阻止薄膜层,利用侧向外延技术,达到图形衬底上凸起和平面区域以上整个外延层...
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