下载一种雪崩二极管的外延结构及雪崩二极管的制造方法的技术资料

文档序号:15705782

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本发明公开了一种雪崩二极管的外延结构,涉及半导体制造技术领域,包括衬底,衬底的上方形成有光吸收层,光吸收层的上方形成有雪崩增益层,雪崩增益层的上方形成有锌扩散层,锌扩散层由InP材料构成,雪崩增益层由In...
该专利属于武汉光谷量子技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉光谷量子技术有限公司授权不得商用。

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