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柔性电子器件及其制造方法技术
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文档序号:15705720
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本发明公开一种柔性电子器件的制造方法。包括如下步骤:提供刚性衬底,在所述刚性衬底上依次制作形成光响应离型层、牺牲层及柔性衬底本体;在所述柔性衬底本体上依次形成的电子器件制作显示单元及封装薄膜;对所述光响应离型层一侧施加紫外光,使所述光响应离...
该专利属于瑞声科技(南京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑞声科技(南京)有限公司授权不得商用。
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