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本发明提供的载台机构及半导体加工设备，其包括上载台、下载台和旋转轴，其中，上载台和下载台相互叠置；在上载台上设置有贯穿其厚度的片位槽，晶片位于片位槽内，且由下载台的上表面承载；并且，在上载台上，且位于片位槽的边缘处还设置有贯穿其厚度的第一取...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。