下载一种微观结构表面的三维信息采集方法及系统的技术资料

文档序号:15703843

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本发明提供了一种微观结构表面的三维信息采集方法及系统,该方法包括:控制X‑Y二维平移台平移,使X‑Z二维激光轮廓仪相对于待测物体沿Y轴方向运动的位移为预设扫描长度,在每次间隔长度为预设扫描分辨率时,控制二维激光轮廓仪采样获取一行扫描数据,从...
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