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本发明提供一种基于清洗工艺制备铜衬底的方法,包括步骤:步骤1),提供制备石墨烯用的铜衬底;步骤2),将所述铜衬底置于有氧环境中处理,使所述铜衬底表面氧化,形成氧化铜层;以及步骤3),将氧化后的铜衬底放入氧化铜的反应溶液中,以腐蚀去除包含杂质...该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。
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本发明提供一种基于清洗工艺制备铜衬底的方法,包括步骤:步骤1),提供制备石墨烯用的铜衬底;步骤2),将所述铜衬底置于有氧环境中处理,使所述铜衬底表面氧化,形成氧化铜层;以及步骤3),将氧化后的铜衬底放入氧化铜的反应溶液中,以腐蚀去除包含杂质...