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本发明属于透明导电薄膜技术领域，具体为一种在太赫兹波段具有可控透射率的掺钼氧化锌薄膜的制备方法。本发明利用反应直流磁控溅射及退火技术调控掺钼氧化锌薄膜在太赫兹波段的光学特性，具体为：利用反应直流磁控溅射方法，以锌钼金属镶嵌靶为靶材，以石英玻...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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