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基于图形化碳纳米管阵列的复合型界面散热材料的制备方法技术
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下载基于图形化碳纳米管阵列的复合型界面散热材料的制备方法的技术资料
文档序号:15702141
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本发明公开了一种基于图形化碳纳米管阵列的界面散热材料的制备方法,包括如下步骤:a.在单晶硅上制备一层催化剂薄膜;b.将步骤a得到的催化剂薄膜进行图形化处理;c.在步骤b得到硅片上制备图形化的碳纳米管阵列;d.将碳纳米管阵列转移到热释放胶带上...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。
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