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六自由度压电驱动装置及其激励方法制造方法及图纸
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文档序号:15694724
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六自由度压电驱动装置及其激励方法,涉及压电驱动领域。本发明是为了解决现有的多自由度压电驱动装置结构复杂、成本高、实现小型化困难、行程小的问题。本发明的六由度压电驱动装置,包括四组完全相同的压电振子、基体以及工作台;压电振子结构包括水平弯曲压...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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