下载基于褶皱导电薄膜的摩擦发电机及制备方法、集成结构的技术资料

文档序号:15694721

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本发明提供了一种基于褶皱导电薄膜的摩擦发电机,包括:上摩擦层,包含:上绝缘层(200),由柔性材料制备;上电极(100),位于上绝缘层之上;下摩擦层,包含:衬底(400),由柔性材料制备;下电极(300),位于衬底之上,由褶皱的导电薄膜材料...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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