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本申请实施例提供一种图案化目标膜层、薄膜晶体管、阵列基板及制作方法,以简化图案化目标膜层的制作工艺,降低图案化目标膜层的制作成本。所述制作方法包括:在衬底基板上形成图案化的光刻胶层,其中,所述光刻胶层的图案为与所述目标膜层的图案互补的图案;...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司授权不得商用。